羽杰科技研发的YJ-1080水溶性镭射激光切割保护液,是一种用于晶圆激光切片工艺的高密度合成聚合物涂层,可以有效地覆盖和保护晶圆片表面,可应用于LED及半导体Low-k激光烧蚀加工。在高亮度LED加工中激光烧蚀加工及隐形切割方法逐渐成为主流制程,其中烧蚀加工兼顾了效率、合格率及成本上的平衡。
与此同时,集成电路特征尺寸不断微缩,Cu-Low-k制程得到广泛的应用,带Low-k膜(低介电常数膜)的晶圆需要采用激光开槽方式加工。YJ-1080可有效抑制LED晶片及晶圆表面碎片沾附,同时具有优异的冷却效果,防止保护膜的热固着,易于清洗。可实现蓝宝石、GaAs、Si及SiC等基底的切割保护。
产品主要特点:
●降低制程产生的过热及烧灼
●减少颗粒附着晶圆
●晶圆表面产生保护膜
●无残留的优良切割制程
●百分百水溶性
●激光切割制程的最佳解决方案
运用:
* 硅基晶圆激光切割;
* GaAs、InP晶圆激光切割;
* SiC、GaN激光切割;
使用方法:
先将羽杰晶圆激光保护液以喷涂或是涂布的方式,均匀的分布在晶圆(LED或半导体)等工件表面,再进行激光加工作业。
注意事项:未使用完的保护液须将桶盖拧紧,避免水分、油质、灰尘混入,影响加工品质。
包装规格:1加仑/桶,20L/桶
贮存条件:存放于阴凉透风处,避免日晒雨淋。
本文标题:镭射激光切割保护液-羽杰科技
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