羽杰科技: 在晶圆切割过程中,通过涂覆一层特殊的激光切割保护胶材料在晶圆表面,形成一层保护膜。这层膜 的主要功能是防止切割刀具对晶圆表面造成划伤和碎裂,并且可以减少切割过程中产生的粉尘。同时,这层膜的材料应具有较高的抗切割压力和耐腐蚀性能,以保障切割过程的稳定性 和质量。
激光切割保护胶介绍: 羽杰科技激光切割保护胶YJ-2707,大功率激光切割保护液,能在 8-16W 激光加工,在 130 度以下高温裂片不焦灼烧蚀。具有优异的润滑、散热、阻热、冷却功能,减少热效应, 抑制静电,防止保护膜的热固着,易于清洗。
YJ-2707 可以在 AR/VR 镜片、晶圆、硅晶片、陶瓷基板表面等工件表面,快速形成一层 均匀的有机保护膜,及时分散热量,阻止镭射的热能扩散造成切割道过大,有效的防止切割 后的碎屑喷溅到晶圆表面,防止工件裂纹、崩边及表面划伤,工件表面光洁,无熔渣残留, 加工精度高,切割面光滑平整无毛刺,切割缝隙窄,并避免透镜被飞溅物和烟尘附着而损坏, 提高产品良率和加工效率,节约设备及物料成本。 应用领域: AR/VR、半导体、汽车、航天航空、电子电器、锂电池、太阳能电池板组件、有色金属 纤维、精密机械等所有领域,
晶圆激光切割保护胶 YJ-2707 广泛用于镭射开槽、切割、打 孔、焊接、表面处理及半导体加工等工艺(如:半导体晶圆切割、LED 晶圆切割)。
产品参数: 成分:水溶性树脂、表面活性剂、紫外吸收剂、有机清洁剂、保湿剂、抗氧剂、缓蚀剂等。 外观:透明液体 粘度:40-60
产品优势:
1.对激光切割适应性好, 提高产品良率和加工效率,节约设备及物料成本;
2.防喷溅,防止切割碎屑喷溅破坏晶圆表面,避免激光设备透镜被飞溅物损坏;
3.晶圆激光切割保护胶 YJ-2707 具有良好的散热、阻热、冷却功能,防止保护膜热固着, 易于清洗;
4.切割热影响区小,切缝隙窄,节省材料;
5.具良好的润滑性能,边线平直,无裂纹,切割面平整光滑无毛刺;
6.无切割粘渣,工件表面光洁无划伤,不需再进行辅助清理;
7.阻止芯片表面的金属线路在高温下被氧化;
8.操作方便,易加工,易清洁,对人体与环境友好。
激光切割保护胶参考使用方法: 在待切的产品上通过旋涂的方式将激光切割保护液涂覆成膜, 旋涂参数为:1500~2000rpm,30sec, 加速度 ACC:1000; 旋涂后在室温下保证在 3h 内进行激光切割,否则可能因为保护膜挥发过多,导致清洗 不净。
后续采用紫外光、红外及绿光激光进行切割。切割后采用二流体清洗,清洗时间为 2-5min,以不残留保护膜为准。
紫外光切割参数:355nm 的紫外光切割两道,划片速度分别为 200mm/s 和 300mm/s,功率为 1.5W。
红外光切割参数:1064nm 的红外光切割一道,划片速度为 220mm/s,功率为 8W。
绿光切割参数:532nm 的绿光切割三道,两侧的切割频率、功率和速度分别为 1500KHz、 5W 和 200mm/s;中间的切割频率、功率和速度分别为 1200KHz、4W 和 180mm/s。
注意事项:未使用完的保护液须将桶盖拧紧,避免水分、油质、灰尘混入, 影响加工品质。
包装规格:1 加仑/桶,20L/桶
贮存条件:存放于阴凉透风处,避免日晒雨淋。
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