羽杰科技：羽杰科技： 在晶圆切割过程中，通过涂覆一层特殊的激光切割保护液材料在晶圆表面，形成一层保护膜。这层膜 的主要功能是防止切割刀具对晶圆表面造成划伤和碎裂，并且可以减少切割过程中产生的粉尘。那么激光切割保护液如何使用？

      激光切割保护液参考使用方法： 在待切的产品上通过旋涂的方式将激光切割保护液涂覆成膜， 旋涂参数为：1500～2000rpm，30sec， 加速度 ACC：1000； 旋涂后在室温下保证在 3h 内进行激光切割，否则可能因为保护膜挥发过多，导致清洗 不净。

       后续采用紫外光、红外及绿光激光进行切割。切割后采用二流体清洗，清洗时间为 2-5min，以不残留保护膜为准。

       紫外光切割参数：355nm 的紫外光切割两道，划片速度分别为 200mm/s 和 300mm/s，功率为 1.5W。 

       红外光切割参数：1064nm 的红外光切割一道，划片速度为 220mm/s，功率为 8W。 

       绿光切割参数：532nm 的绿光切割三道，两侧的切割频率、功率和速度分别为 1500KHz、 5W 和 200mm/s；中间的切割频率、功率和速度分别为 1200KHz、4W 和 180mm/s。 

       注意事项：未使用完的保护液须将桶盖拧紧，避免水分、油质、灰尘混入， 影响加工品质。 

本文标题：激光保护液如何使用-羽杰科技

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