羽杰科技MLJ-2508D是一款专为半导体及精密电子行业研发的高效光刻胶清洗剂,采用创新配方与技术,适用于正负光刻胶的快速剥离与残留物清除。其核心成分融合PGMEA(丙二醇甲醚醋酸酯)、饱和环醚及高分子螯合剂,结合氮杂冠醚添加剂,显著提升清洗效率与工艺兼容性,助力晶圆制造与微电子加工的精细化生产。
核心优势与参数解析
1. 超强清洗效率
清洗时间缩短至≤3分钟,光刻胶去除率达99.8%以上,显著提升产线效率。
2. 广谱兼容性
支持正胶与负胶双重清洗需求,适配ArF、KrF、i线等多种光刻工艺,覆盖半导体、显示面板等领域。
3. 低温高效配方
在30℃~50℃低温环境下即可激活反应,减少能耗并避免高温对基材的热损伤,节能率达40%。
4. 环保低毒设计
采用无卤素、低VOC配方,符合欧盟RoHS及REACH标准,废水处理成本降低50%,支持循环回用技术。
5. 精准残留控制
金属离子残留量<1ppb,颗粒污染物控制至≤0.1μm,满足高端制程的洁净度要求。
6. 材料兼容性卓越
对硅片、金属层(Cu/Al)、氧化物等基材无腐蚀,表面粗糙度变化<0.2nm,保障器件可靠性。
7. 智能化操作支持
可与自动化清洗设备无缝集成,支持pH实时监控(范围2.5~5.5)与流量调节,降低人工干预需求。
8. 长周期稳定性
溶液寿命长达6个月,开封后有效期30天,减少频繁更换成本。
9. 适用于高洁净度车间环境。
10. 综合成本优势
相比传统清洗剂,用量减少30%,综合处理成本降低60%,助力企业实现降本增效。
技术参数一览表
| 参数项 | 数值/特性 |
| 主要成分 | PGMEA、四氢呋喃、氮杂冠醚 |
| pH值范围 | 2.5~5.5(可调) |
| 适用温度 | 30℃~50℃ |
| 清洗时间 | ≤3分钟 |
| 残留颗粒尺寸 | ≤0.1μm |
| 金属离子残留 | <1ppb |
| 包装规格 | 20L/桶(定制化供应) |
| 储存条件 | 阴凉避光,5℃~25℃ |
应用场景与客户价值
MLJ-2508D广泛应用于晶圆制造、MEMS器件封装、光学元件加工等领域,帮助客户:
提升良品率至98%+,缩短生产周期;
减少废水处理压力,实现70%中水回用率;
通过ISO 14001环保认证,增强企业绿色形象。
羽杰科技承诺
以“质量铸精品,服务赢客户”为宗旨,提供24小时技术支持与定制化解决方案,助力客户迈向智能化、绿色化制造未来。
(注:部分参数参考行业通用标准与实验数据,具体以实际产品手册为准。)
本文标题:羽杰科技光刻胶清洗剂MLJ-2508D:精准高效,赋能半导体制造新标准
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