羽杰科技光刻胶清洗剂MLJ-2508D:精准高效,赋能半导体制造新标准


羽杰科技光刻胶清洗剂

        羽杰科技MLJ-2508D是一款专为半导体及精密电子行业研发的高效光刻胶清洗剂,采用创新配方与技术,适用于正负光刻胶的快速剥离与残留物清除。其核心成分融合PGMEA(丙二醇甲醚醋酸酯)、饱和环醚及高分子螯合剂,结合氮杂冠醚添加剂,显著提升清洗效率与工艺兼容性,助力晶圆制造与微电子加工的精细化生产。

核心优势与参数解析

1. 超强清洗效率 

   清洗时间缩短至≤3分钟,光刻胶去除率达99.8%以上,显著提升产线效率。


2. 广谱兼容性

   支持正胶与负胶双重清洗需求,适配ArF、KrF、i线等多种光刻工艺,覆盖半导体、显示面板等领域。


3. 低温高效配方

   在30℃~50℃低温环境下即可激活反应,减少能耗并避免高温对基材的热损伤,节能率达40%。


4. 环保低毒设计 

   采用无卤素、低VOC配方,符合欧盟RoHS及REACH标准,废水处理成本降低50%,支持循环回用技术。


5. 精准残留控制  

   金属离子残留量<1ppb,颗粒污染物控制至≤0.1μm,满足高端制程的洁净度要求。


6. 材料兼容性卓越  

   对硅片、金属层(Cu/Al)、氧化物等基材无腐蚀,表面粗糙度变化<0.2nm,保障器件可靠性。


7. 智能化操作支持  

    可与自动化清洗设备无缝集成,支持pH实时监控(范围2.5~5.5)与流量调节,降低人工干预需求。


8. 长周期稳定性 

    溶液寿命长达6个月,开封后有效期30天,减少频繁更换成本。


9. 适用于高洁净度车间环境。


10. 综合成本优势 

    相比传统清洗剂,用量减少30%,综合处理成本降低60%,助力企业实现降本增效。


技术参数一览表 

| 参数项            | 数值/特性                                |  

| 主要成分         | PGMEA、四氢呋喃、氮杂冠醚 |  

| pH值范围        | 2.5~5.5(可调)                     |  

| 适用温度          | 30℃~50℃                             |  

| 清洗时间          | ≤3分钟                                   |  

| 残留颗粒尺寸   | ≤0.1μm                                  |  

| 金属离子残留   | <1ppb                                   |  

| 包装规格          | 20L/桶(定制化供应)             |  

| 储存条件          | 阴凉避光,5℃~25℃                |  


应用场景与客户价值

MLJ-2508D广泛应用于晶圆制造、MEMS器件封装、光学元件加工等领域,帮助客户:  

提升良品率至98%+,缩短生产周期;  

减少废水处理压力,实现70%中水回用率;  

通过ISO 14001环保认证,增强企业绿色形象。

羽杰科技承诺

以“质量铸精品,服务赢客户”为宗旨,提供24小时技术支持与定制化解决方案,助力客户迈向智能化、绿色化制造未来。  

(注:部分参数参考行业通用标准与实验数据,具体以实际产品手册为准。)  

本文标题:羽杰科技光刻胶清洗剂MLJ-2508D:精准高效,赋能半导体制造新标准

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